A moving lattice (30X) is arranged on a side surface of a wafer stage (WST), light is applied to the moving lattice from a light source (22), diffracted light generated at the moving lattice is interfered by fixed scales (24A, 24B) wherein positional relationship with the light source is fixed and an index scale (26), and the interfered light is detected by a detector (28). In such case, since the moving lattice is arranged on the side surface of the wafer stage, size increase of the wafer stage as a whole can be suppressed. Furthermore, since the interference is generated among a plurality of diffracted beams (for instance, ± primary diffracted beams) passing extremely close optical paths, there is less influence of fluctuation of the ambient atmosphere compared with the conventional interferometer, highly accurate measurement of position information of the mobile body is made possible.
H01L 21/027 - Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe ou
G01B 11/00 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques
G01D 5/38 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques formant la lumière en impulsions par réseaux de diffraction
An interval of incident places of –1st diffraction light, 0-th light, and +1st diffraction light is set to be three times (3p) a bit pattern pitch of a track (31). The incident place of the 0-th light and the ±1st diffraction light become to vibrate in an X-axis direction by a rotating vibration of a vibrating mirror (14) by a driving device while the interval of the incident place is maintained with each other. An amplitude (half amplitude) of the vibration is set to be equal to a pitch (p) of the bit pattern. The incident places of the 0-th light and ±1st diffraction light move between regions corresponding to three bits with an equal interval, respectively. Thus, 9-bit absolute position information can be read out by using three diffracting light.
G01D 5/36 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques formant la lumière en impulsions
G01D 5/38 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques formant la lumière en impulsions par réseaux de diffraction
Illumination light (IL) is reflected on the reflection surface (21a) of an oscillator (21) and enters a lens (24). Since the oscillator (21) is reciprocating in directions of arrows (A, A') intersecting the reflection surface at a predetermined cycle, the illumination light (IL) reflected on the reflection surface (21a) of the oscillator (21) enters the lens (24) while reciprocating. Exit angle of the illumination light (IL) entered the lens (24) is altered according to reciprocal movement of the oscillator (21) by the lens (24). Consequently, the illumination light (IL) exiting the lens (21) performs scanning within a predetermined angular range. In this regard, a small oscillator having a small oscillation range can be employed.
G01D 5/38 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques formant la lumière en impulsions par réseaux de diffraction
G02B 26/08 - Dispositifs ou dispositions optiques pour la commande de la lumière utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander la direction de la lumière
4.
POSITION MEASURING DEVICE AND POSITION MEASURING METHOD, MOBILE BODY DRIVING SYSTEM AND MOBILE BODY DRIVING METHOD, PATTERN FORMING DEVICE AND PATTERN FORMING METHOD, EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
A position measuring device includes linear encoders (50A to 50D) having four movable scales (44A to 44D) which are secured to a wafer stage (WST) and surround a wafer (W); and head units (46A to 46D) which are corresponding to the movable scales and emit a light having a wavelength in the longitudinal direction substantially longer than that in the direction perpendicular to the longitudinal direction. The information on the position of the wafer stage (WST) in an XY plane is calculated on the basis of the results of measured by the encoders. Thereby, the position of a mobile body can be accurately measured without increasing the size.
Light passed through first and second index scales (20, 22) is split by a beam splitter (BS). One split light is received by a first light receiving element (26) through a moving scale (24), and the other split light is received by a second light receiving element (30) through a reference scale (28). Thus, moving information of the moving scale can be highly accurately measured without being affected by drift of the beam modulation center (oscillation center), through calculation of the position information of the moving scale by using an output (output (1)) of the first light receiving element and an output (output (2)) of the second light receiving element.
G01D 5/38 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques formant la lumière en impulsions par réseaux de diffraction
G01D 5/347 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques en utilisant le déplacement d'échelles de codage
G01D 5/36 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques formant la lumière en impulsions
An optical unit (26) is provided with a first diffraction grating (127a) and a second diffraction grating (127b) which is arranged at a position at a prescribed distance from the first diffraction grating in a Z axis direction. The status of light interfered by both the first diffraction grating and the second diffraction grating of the optical unit change corresponding to relative angle change of illuminating light projected from a light source and the optical unit. Therefore, relative angle relationship between the illuminating light and the optical unit can be measured by receiving the interference light by a light receiving element.
G01B 11/26 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour tester l'alignement des axes
G01D 5/38 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques formant la lumière en impulsions par réseaux de diffraction
A photoelectric encoder comprising a lighting light source (11), a moving grid (15) displaceable in a direction crossing a grid line, an index grid (13) serving as a reference of the displacement of the moving grid (15), a light receiving element (16) for receiving the lighting light via the moving grid (15) and the index grid (13), a modulation device (17) for cyclically changing a light output from the index grid (13), and displacement detecting devices (22, 23) for detecting the displacement of the above moving grid based on a time-dependent change in the intensity of the lighting light received by the light receiving element (16). A signal representing the displacement of a mobile can be accurately generated despite variations in the attitude of the grid.
G01D 5/36 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques formant la lumière en impulsions
G01D 5/38 - Moyens mécaniques pour le transfert de la grandeur de sortie d'un organe sensible; Moyens pour convertir la grandeur de sortie d'un organe sensible en une autre variable, lorsque la forme ou la nature de l'organe sensible n'imposent pas un moyen de conversion déterminé; Transducteurs non spécialement adaptés à une variable particulière utilisant des moyens optiques, c. à d. utilisant de la lumière infrarouge, visible ou ultraviolette avec atténuation ou obturation complète ou partielle des rayons lumineux les rayons lumineux étant détectés par des cellules photo-électriques formant la lumière en impulsions par réseaux de diffraction
brevets
