Getter pump comprising a casing (21, 21'), whose shape is a solid of revolution with a revolution axis (24), and a plurality of getter cartridges (22, 23) mounted within said getter pump casing (21, 21'), each cartridge (22, 23) comprising a linear central support (221, 231) and spaced getter elements mounted on said linear central support (221, 231), a plane containing a linear central support (221, 231) and parallel to the revolution axis (24) being defined a getter cartridge orientation plane, and a plane orthogonal to the revolution axis (24) and intersecting the midpoint of a linear central support (221, 231) being defined a getter cartridge positioning plane (222, 232), the angles (a, a') formed by said positioning planes (222, 232) with the linear central supports (221, 231) being equal to or less than 30°.
H01J 7/18 - Moyens d'absorption ou d'adsorption du gaz, p.ex. par getter
F04B 37/02 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation, par absorption ou adsorption
2.
COMBINED PUMPING SYSTEM COMPRISING A GETTER PUMP AND AN ION PUMP
A combined pumping system comprising a getter pump (120; 220) and an ion pump (130; 230) is described. The getter pump and the ion pump (120, 130; 220, 230) are mounted in series on a same flange (111; 211) and respectively arranged on opposite sides thereof so that both getter and ion pumps conductance are maximized towards gas flux sources in a vacuum chamber in order to improve the vacuum level of the system.
F04B 37/02 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour l'évacuation, par absorption ou adsorption
F04B 37/14 - Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes ou présentant un intérêt autre que celui visé par ces groupes pour utilisation particulière pour obtenir un vide élevé
H01J 7/18 - Moyens d'absorption ou d'adsorption du gaz, p.ex. par getter
H01J 41/12 - Tubes à décharge pour l'évacuation par diffusion d'ions, p.ex. pompes ioniques, pompes ioniques à getter
The invention relates to a hydrophobically coated molecular sieve comprising particles that have a maximum particle size of 1000 nm. The surface of the particles is coated with a silane of general formula SiR1R2R3R4. Also disclosed are a method for producing said molecular sieve and a method for using the same. The invention further relates to the use of the coated molecular sieve, compositions containing said molecular sieve, and the use thereof for producing devices, e.g. electronic components and apparatuses.
B01D 53/02 - SÉPARATION Épuration chimique ou biologique des gaz résiduaires, p.ex. gaz d'échappement des moteurs à combustion, fumées, vapeurs, gaz de combustion ou aérosols par adsorption, p.ex. chromatographie préparatoire en phase gazeuse
B01D 53/28 - Emploi de substances spécifiées comme agents desséchants
B01J 20/22 - Compositions absorbantes ou adsorbantes solides ou compositions facilitant la filtration; Absorbants ou adsorbants pour la chromatographie; Procédés pour leur préparation, régénération ou réactivation contenant une substance organique
B01J 20/28 - Compositions absorbantes ou adsorbantes solides ou compositions facilitant la filtration; Absorbants ou adsorbants pour la chromatographie; Procédés pour leur préparation, régénération ou réactivation caractérisées par leur forme ou leurs propriétés physiques
C01B 39/00 - Composés ayant des propriétés de tamis moléculaires et d'échangeurs de base, p.ex. zéolites cristallines; Leur préparation; Post-traitement, p.ex. échange d'ions ou extraction de l'aluminium
H01L 23/26 - Matériaux de remplissage caractérisés par le matériau ou par ses propriétes physiques ou chimiques, ou par sa disposition à l'intérieur du dispositif complet incluant des matériaux destinés à absorber ou à réagir avec l'humidité ou d'autres substances indésirables
B01J 20/06 - Compositions absorbantes ou adsorbantes solides ou compositions facilitant la filtration; Absorbants ou adsorbants pour la chromatographie; Procédés pour leur préparation, régénération ou réactivation contenant une substance inorganique contenant des oxydes ou des hydroxydes des métaux non prévus dans le groupe
A process for manufacturing micromechanical devices is described, said devices being formed by joining two parts together by direct bonding, one of the parts (12) being made of silicon and the other one being made of a material chosen between silicon and a semiconductor ceramic or oxidic material, such that the joint between the two parts forms a cavity (14) containing the functional elements of the device (11), possible auxiliary elements and a getter material deposit (13).
A process for the formation of miniaturized getter deposits is described, comprising the steps of: forming a layer (11) of a photosensitive polymeric material on a support (10); selectively exposing the polymeric layer in order to cause a chemical modification in a portion of the polymeric layer; removing with a solvent only one between the previously exposed or the not previously exposed portion of the polymeric layer, thus forming cavities (12, 12', ...) in the polymeric layer; forming a thin layer (13) of a getter material through cathodic deposition at the bottom of said cavity and on the residual polymer; and removing with a second solvent the polymer portion not removed by the first solvent, leaving at least a getter material deposit (131, 131', ...; 20) on the support surface. The invention also relates to miniaturized getter deposits obtained through this process.
It is disclosed a process which allows to simplify the manufacture of devices (20; 30) which contain thereinside a deposit of non evaporable getter material (17; 32) on a support (22; 33), which may be an internal wall of the same devices. The process comprises the operation of treating the support with the getter material with at least an acid or basic solution.
Disclosed are getter multilayers formed of at least a layer (12) of a non-evaporable getter alloy having a low activation temperature over a layer (11) of a different non-evaporable getter material having high specific surface, both obtained by cathodic deposition; the deposits of the invention show getter gas sorbing characteristics and activation temperature lower than those of deposits made up of a single material. The process for manufacturing these deposits is also disclosed.
B01J 20/02 - Compositions absorbantes ou adsorbantes solides ou compositions facilitant la filtration; Absorbants ou adsorbants pour la chromatographie; Procédés pour leur préparation, régénération ou réactivation contenant une substance inorganique
brevets
