A motor assembly comprises a composite housing having a core of sprayed magnetic particles and a winding on the core; and a rotor having a magnet located thereon, the rotor being rotatably mounted within the winding. The core of sprayed magnetic particles comprises particles of an iron-containing material that when deposited results in an aggregate of small micro-domains separated by insulation boundaries.
H02K 1/02 - MACHINES DYNAMO-ÉLECTRIQUES - Détails du circuit magnétique caractérisés par le matériau magnétique
H02K 5/02 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par le matériau les constituant
H02K 15/02 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication, l'assemblage, l'entretien ou la réparation des machines dynamo-électriques des corps statoriques ou rotoriques
An apparatus including a first device configured to support a substrate thereon; a first transport having the first device connected thereto, where the first transport includes: rails or maglev guides; a magnetic system configured to vertically space the first device over the rails or maglev guides with a gap between the first device and the rails or maglev guides, where the magnetic system comprises a first electromagnetic actuator at a first corner of a first side of the first device, a second electromagnetic actuator at a second corner of the first side of the first device, and a third electromagnetic actuator at a second opposite side of the first device, where the third electromagnetic actuator is not located proximate a corner of three sides of the first device; and a linear actuator configured to move the first device along the rails or maglev guides.
B65G 47/92 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux comportant des pinces électrostatiques ou magnétiques
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H02K 41/03 - Moteurs synchrones; Moteurs pas à pas; Moteurs à réluctance
H02K 11/21 - Dispositifs pour détecter la vitesse ou la position, ou actionnés par des valeurs de ces variables
H02N 15/00 - Dispositifs de maintien ou de lévitation utilisant l'attraction ou la répulsion magnétique, non prévus ailleurs
H02K 11/35 - Dispositifs pour enregistrer ou transmettre la valeur des paramètres d’une machine, p.ex. puces de mémoire ou émetteurs radio pour le diagnostic
An apparatus including a first device configured to support at least one substrate thereon; and a first transport having the device connected thereto. The transport is configured to carry the device. The transport includes a plurality of supports which are movable relative to one another along a linear path; at least one magnetic bearing which at least partially couples the supports to one another. A first one of the magnetic bearings includes a first permanent magnet and a second magnet. The first permanent magnet is connected to a first one of the supports. A magnetic field adjuster is connected to the first support which is configured to move the first permanent magnet and/or vary influence of a magnetic field of the first permanent magnet relative to the second magnet.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H05K 7/20 - Modifications en vue de faciliter la réfrigération, l'aération ou le chauffage
H02J 50/05 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage capacitif
F25B 21/04 - Machines, installations ou systèmes utilisant des effets électriques ou magnétiques utilisant l'effet Nernst-Ettinghausen réversibles
F16C 32/04 - Paliers non prévus ailleurs faisant usage de moyens de support magnétiques ou électriques
An apparatus having a drive unit having a first drive axis rotatable about a first axis of rotation and a second drive axis rotatable about a second axis of rotation, the second drive axis being coaxial with and partially within the first drive axis and axially rotatable within the first drive axis. A robot arm has an upper arm connected to the drive unit at the first drive axis, a forearm coupled to the upper arm, the forearm being coupled to the upper arm at a first rotary joint and rotatable about the first rotary joint, the first rotary joint being actuatable by a first band arrangement coupled to the second drive axis, and an end effector coupled to the forearm.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
An apparatus including at least one drive; a first robot arm having a first upper arm, a first forearm and a first end effector. The first upper arm is connected to the at least one drive at a first axis of rotation. A second robot arm has a second upper arm, a second forearm and a second end effector. The second upper arm is connected to the at least one drive at a second axis of rotation which is spaced from the first axis of rotation. The first and second robot arms are configured to locate the end effectors in first retracted positions for stacking substrates located on the end effectors at least partially one above the another. The first and second robot arms are configured to extend the end effectors from the first retracted positions in a first direction along parallel first paths located at least partially directly one above the other. The first and second robot arms are configured to extend the end effectors in at least one second direction along second paths spaced from one another which are not located above one another. The first upper arm and the first forearm have different effective lengths. The second upper arm and the second forearm have different effective lengths.
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
6.
Needle Winding for High Density Copper Fill Internal Tooth Electric Motor Stator And Method Therefor
A segmented stator for an electric motor comprises: a plurality of tooth segments arranged in a circular configuration, the tooth segments having body portions and front surfaces extending inward from the body portions; and wire wound on the body portions. A distance between adjacently positioned front surfaces of the tooth segments is less than a width of the wire. The wire wound on the body portions substantially fills space between adjacently positioned tooth segments.
H02K 15/02 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication, l'assemblage, l'entretien ou la réparation des machines dynamo-électriques des corps statoriques ou rotoriques
H02K 15/04 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication, l'assemblage, l'entretien ou la réparation des machines dynamo-électriques d'enroulements, avant leur montage dans les machines
A segmented stator for an electric motor comprises : a plurality of tooth segments arranged in a circular configuration, the tooth segments having body portions and front surfaces extending inward from the body portions; and wire wound on the body portions. A distance between adjacently positioned front surfaces of the tooth segments is less than a width of the wire. The wire wound on the body portions substantially fills space between adjacently positioned tooth segments.
H02K 15/085 - Exécution des enroulements par pose des conducteurs dans ou autour des parties formant le noyau par pose des conducteurs dans les stators encochés
H02K 1/16 - Noyaux statoriques à encoches pour enroulements
H02K 1/18 - Moyens de montage ou de fixation des parties magnétiques fixes sur ou aux structures constituant le stator
H02K 15/08 - Exécution des enroulements par pose des conducteurs dans ou autour des parties formant le noyau
An apparatus includes a platform configured to traverse a stationary base along a motion path; a drive coupled to the platform; and a movable arm assembly. The movable arm assembly includes a pivoting base connected to the drive, first and second linkages connected to the pivoting base, each linkage having links connected via rotary joints and each link having at least one end-effector. The platform is configured to traverse the stationary base along a motion path in two opposing directions and the drive and the movable arm assembly are configured to cause independent and simultaneous movement and trans fer of substrates from at least one of a first substrate holding area, a second substrate holding area, a third substrate holding area, or a fourth substrate holding area into or from a respective substrate workstation.
B25J 5/02 - Manipulateurs montés sur roues ou sur support mobile se déplaçant le long d'un chemin de guidage
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
An apparatus includes a platform configured to traverse a stationary base along a motion path; a drive coupled to the platform; and a movable arm assembly. The movable arm assembly includes a pivoting base connected to the drive, first and second linkages connected to the pivoting base, each linkage having links connected via rotary joints and each link having at least one end-effector. The platform is configured to traverse the stationary base along a motion path in two opposing directions and the drive and the movable arm assembly are configured to cause independent and simultaneous movement and transfer of substrates from at least one of a first substrate holding area, a second substrate holding area, a third substrate holding area, or a fourth substrate holding area into or from a respective substrate workstation.
A system for forming a bulk material having insulated boundaries from a metal material and a source of an insulating material is provided. The system includes a heating device, a deposition device, a coating device, and a support configured to support the bulk material. The heating device heats the metal material to form particles having a softened or molten state and the coating device coats the metal material with the insulating material from the source and the deposition device deposits particles of the metal material in the softened or molten state on the support to form the bulk material having insulated boundaries.
B22D 23/00 - Procédés de coulée non prévus dans les groupes
H01F 1/24 - Aimants ou corps magnétiques, caractérisés par les matériaux magnétiques appropriés; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés magnétiques en matériaux inorganiques caractérisés par leur coercivité en matériaux magnétiques doux métaux ou alliages sous forme de particules, p.ex. de poudre comprimées, frittées ou agglomérées les particules étant isolées
B05C 5/00 - Appareillages dans lesquels un liquide ou autre matériau fluide est projeté, versé ou répandu sur la surface de l'ouvrage
B22F 3/115 - Fabrication de pièces ou d'objets à partir de poudres métalliques, caractérisée par le mode de compactage ou de frittage; Appareils spécialement adaptés à cet effet par pulvérisation de métal fondu, c.à d. frittage par pulvérisation, moulage par pulvérisation
C23C 6/00 - Revêtement par coulée du matériau fondu sur le substrat
H01F 41/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication ou à l'assemblage des aimants, des inductances ou des transformateurs; Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des matériaux caractérisés par leurs propriétés magnétiques pour la fabrication de noyaux, bobines ou aimants
An apparatus including a frame, an optical sensor connected to the frame, and an environment separation barrier. The frame is configured to be attached to a housing of a motor assembly proximate an aperture which extends through the housing. The optical sensor comprises a camera. The environment separation barrier is configured to be connected to the housing at the aperture, where the environment separation barrier is at least partially transparent and located relative to the camera to allow the camera to view an image inside the housing through the environment separation barrier and the aperture.
H02K 5/10 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction avec des dispositions empêchant l'introduction de corps étrangers, p.ex. de l'eau ou des doigts
H02K 41/03 - Moteurs synchrones; Moteurs pas à pas; Moteurs à réluctance
H02K 21/44 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des distributeurs de flux tournants, les induits et les aimants restant fixes avec des enroulements induits bobinés sur les aimants
H02K 5/128 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction spécialement adaptées à un fonctionnement dans un liquide ou dans un gaz utilisant des manchons d'entrefer ou des disques à film d'air
H02K 9/22 - Dispositions de refroidissement ou de ventilation par un matériau solide conducteur de la chaleur s'encastrant dans, ou mis en contact avec, le stator ou le rotor, p.ex. des ponts de chaleur
B25J 9/12 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs électriques
B25J 13/08 - Commandes pour manipulateurs au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
H02K 3/30 - Enroulements caractérisés par leur matériau d'isolement
H02K 3/44 - Protection contre l'humidité ou les agents chimiques; Enroulements spécialement adaptés à un fonctionnement dans un liquide ou un gaz
H02K 15/12 - Imprégnation, chauffage ou séchage des bobinages, des stators, des rotors ou des machines
12.
Robot Arm With Unequal Link Lengths And Variable Non-Linear Wrist Orientation
A substrate transport arm including a first link; a second link rotatably connected to the first link; a third link rotatably connected to the second link at a wrist joint; and a mechanical transmission having a pulley. The third link includes an end effector configured to support a substrate thereon. The mechanical transmission is connected to the third link to control rotation of the third link on the second link. The mechanical transmission is configured to control rotation of the third link as a function of an angle between the first and second links such that, as the first and second links are rotated relative to each other, the wrist joint follows a wrist path which includes a curved portion, and where a center of the substrate supported on the end effector is moved along a substantially straight substrate path as the wrist joint follows the curved portion.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
A motor comprises a stator comprising at least one core; a coil wound on the at least one core of the stator; a rotor having a rotor pole and being rotatably mounted relative to the stator; and at least one magnet disposed between the rotor and the stator. The at least one core comprises a composite material defined by iron-containing particles having an alumina layer disposed thereon.
H01F 1/24 - Aimants ou corps magnétiques, caractérisés par les matériaux magnétiques appropriés; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés magnétiques en matériaux inorganiques caractérisés par leur coercivité en matériaux magnétiques doux métaux ou alliages sous forme de particules, p.ex. de poudre comprimées, frittées ou agglomérées les particules étant isolées
H01F 41/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication ou à l'assemblage des aimants, des inductances ou des transformateurs; Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des matériaux caractérisés par leurs propriétés magnétiques pour la fabrication de noyaux, bobines ou aimants
H02K 21/12 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants
H02K 21/16 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants avec des aimants tournant à l'intérieur des induits avec des noyaux d'induits annulaires à pôles saillants
H02K 1/02 - MACHINES DYNAMO-ÉLECTRIQUES - Détails du circuit magnétique caractérisés par le matériau magnétique
B22F 3/115 - Fabrication de pièces ou d'objets à partir de poudres métalliques, caractérisée par le mode de compactage ou de frittage; Appareils spécialement adaptés à cet effet par pulvérisation de métal fondu, c.à d. frittage par pulvérisation, moulage par pulvérisation
B22F 1/16 - Particules métalliques revêtues d'un non-métal
An apparatus includes a drive; a movable arm having a base pivotally connected to the drive, first and second linkages, the first linkage having a first link rotatable on the base at a first rotary joint, a second link connected to the first link at a second rotary joint, and a third link connected to the second link at a third rotary joint, the third link having an end-effector, and the second linkage having a fourth link rotatable on the base at a fourth rotary joint, a fifth link connected to the fourth link at a fifth rotary joint, and a sixth link connected to the fifth link at a sixth rotary joint, the sixth link having another end-effector. The apparatus also includes a master controller coupled to the drive, the master controller being configured to control movements of the movable arm and the base relative to the drive.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
15.
DISTRIBUTED-ARCHITECTURE ROBOT WITH MULTIPLE LINKAGES
An apparatus includes a drive; a movable arm having a base pivotally connected to the drive, first and second linkages, the first linkage having a first link rotatable on the base at a first rotary joint, a second link connected to the first link at a second rotary joint, and a third link connected to the second link at a third rotary joint, the third link having an end-effector, and the second linkage having a fourth link rotatable on the base at a fourth rotary joint, a fifth link connected to the fourth link at a fifth rotary joint, and a sixth link connected to the fifth link at a sixth rotary joint, the sixth link having another end-effector. The apparatus also includes a master controller coupled to the drive, the master controller being configured to control movements of the movable arm and the base relative to the drive.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/06 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des bras à articulations multiples
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
16.
VACUUM-ENVIRONMENT ROBOT WITH INTEGRATED PAYLOAD GRIPPER
An apparatus includes a drive; a movable arm connected to the drive and having a first link rotatable about the drive at a first rotary joint, a first actuator configured to cause a rotation of the first link about the first rotary joint, at least one second link connected to the first link at a second rotary joint, at least one second actuator configured to cause a rotation of the second link about the second rotary joint, and at least one gripper on the second link, the gripper being configured to carry a payload. The gripper includes a dielectric substrate, at least one electrode disposed on the dielectric substrate, the electrode being configured to produce an attractive force on a surface of the electrode to attract the payload, and a main electronic module configured to apply a voltage to the electrode from a source of current.
An apparatus includes a drive; a movable arm connected to the drive and having a first link rotatable about the drive at a first rotary joint, a first actuator configured to cause a rotation of the first link about the first rotary joint, at least one second link connected to the first link at a second rotary joint, at least one second actuator configured to cause a rotation of the second link about the second rotary joint, and at least one gripper on the second link, the gripper being configured to carry a payload. The gripper includes a dielectric substrate, at least one electrode disposed on the dielectric substrate, the electrode being configured to produce an attractive force on a surface of the electrode to attract the payload, and a main electronic module configured to apply a voltage to the electrode from a source of current.
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
An apparatus includes a first arm comprising an unequal-link linkage having a first end effector; a second arm comprising an equal-link linkage having a second end effector; and a drive unit coupled to the first arm and the second arm, the drive unit being configured to move the first arm and the second arm. The first end effector is asymmetric to the second end effector. The first end effector is angled relative to the second end effector such that a first substrate support section on the first end effector is not positioned over or under a second substrate support section on the second end effector.
An apparatus including a controller; a robot drive; a robot arm connected to the robot drive, where the robot arm has links including an upper arm, a first forearm connected to a first end of the upper arm, a second forearm connected to a second opposite end of the upper arm, a first end effector connected to the first forearm and a second end effector connected to the second forearm; and a transmission connecting the robot drive to the first and second forearms and the first and second end effectors. The transmission is configured to rotate the first and second forearms relative to the upper arm and rotate the first and second end effectors on their respective first and second forearms. The upper arm is substantially rigid and movement of the upper arm by the robot drive moves both the first and second forearms in opposite directions.
G06F 7/00 - Procédés ou dispositions pour le traitement de données en agissant sur l'ordre ou le contenu des données maniées
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
20.
MATERIAL-HANDLING ROBOT WITH MAGNETICALLY GUIDED END-EFFECTORS
An apparatus includes a drive unit; and an arm assembly- connected to the drive unit, where the arm assembly comprises a traversing platform having an end-effector configured to carry a payload located thereon; a linear actuation system configured to drive the traversing platform in a linear direction; and a magnetic support system comprising at least one guide attached to a frame of the arm assembly, a plurality of vertical actuators attached to the traversing platform, and a plurality of horizontal actuators attached to the traversing platform, the plurality of vertical actuators being configured, with the at least one guide, to move the traversing platform in a vertical direction relative to the linear direction, and the plurality of horizontal actuators being configured, with the at least one guide, to move the traversing platform in a horizontal direction relative to the linear direction.
An apparatus includes a drive unit; and an arm assembly connected to the drive unit, where the arm assembly comprises a traversing platform having an end-effector configured to carry a payload located thereon; a linear actuation system configured to drive the traversing platform in a linear direction; and a magnetic support system comprising at least one guide attached to a frame of the arm assembly, a plurality of vertical actuators attached to the traversing platform, and a plurality of horizontal actuators attached to the traversing platform, the plurality of vertical actuators being configured, with the at least one guide, to move the traversing platform in a vertical direction relative to the linear direction, and the plurality of horizontal actuators being configured, with the at least one guide, to move the traversing platform in a horizontal direction relative to the linear direction.
An apparatus including a first device configured to support at least one substrate thereon; and a first transport having the device connected thereto. The transport is configured to carry the device. The transport includes a plurality of supports which are movable relative to one another along a linear path; at least one magnetic bearing which at least partially couples the supports to one another. A first one of the magnetic bearings includes a first permanent magnet and a second magnet. The first permanent magnet is connected to a first one of the supports. A magnetic field adjuster is connected to the first support which is configured to move the first permanent magnet and/or vary influence of a magnetic field of the first permanent magnet relative to the second magnet.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
F16C 32/04 - Paliers non prévus ailleurs faisant usage de moyens de support magnétiques ou électriques
H02J 50/10 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif
H02J 50/12 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif du type couplage à résonance
H02J 50/90 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique mettant en œuvre la détection ou l'optimisation de la position, p.ex. de l'alignement
H02J 50/05 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage capacitif
23.
Material-Handling Robot with Multiple Semi-Independent Arms
An apparatus including a drive unit; and an arm assembly connected to the drive unit. The arm assembly includes an upper arm connected to a first drive shaft of the drive unit; a first set of forearms connected to a first end of the upper arm; a second set of forearms connected to a second end of the upper arm, where the second set has a different number of forearms than the first set; and a respective end effector connected to the forearms.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
An apparatus including a drive unit; and an arm assembly connected to the drive unit. The arm assembly includes an upper arm connected to a first drive shaft of the drive unit; a first set of forearms connected to a first end of the upper arm; a second set of forearms connected to a second end of the upper arm, where the second set has a different number of forearms than the first set; and a respective end effector connected to the forearms.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
An apparatus including a robot drive; and a robot arm connected to the robot drive, where the robot arm includes a first link connected to the robot drive, a second link rotatably connected to the first link at a first rotatable connection, and an end effector rotatably connected to the second link at a second rotatable connection. The end effector includes a heat choke located between a substrate support area of the end effector and the second rotatable connection. At least one of the first rotatable connector or the second rotatable connection includes a rotary thermal coupling having interleaved members which are rotatable relative to each other.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
A substrate transport apparatus including a lower linearly driven effector structure with spaced paddles, and an upper linearly driven end effector structure with spaced paddles and no rotating joints above a paddle of the lower end effector structure. A drive subsystem is configured to linearly drive the lower end effector structure and to linearly drive the upper end effector structure independent of the lower end effector structure.
An apparatus including a robot drive; and a robot arm connected to the robot drive, where the robot arm includes a first link connected to the robot drive, a second link rotatably connected to the first link at a first rotatable connection, and an end effector rotatably connected to the second link at a second rotatable connection, The end effector includes a heat choke located between a substrate support area of the end effector and the second rotatable connection. At least one of the first rotatable connector or the second rotatable connection includes a rotary thermal coupling having interleaved members which are rotatable relative to each other.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
A system for producing a soft magnetic material having a core-shell structure includes a gas supply configured to supply at least one gas; and a furnace configured to receive the at least one gas. A flow of the at least one gas is configured to be varied to provide a shell on a particle in the furnace.
B22F 1/02 - Traitement particulier des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre, d'améliorer leurs propriétés; Poudres métalliques en soi, p.ex. mélanges de particules de compositions différentes comportant un enrobage des particules
H01F 1/147 - Alliages caractérisés par leur composition
29.
CORE-SHELL PARTICLES AND COMPOSITE MATERIAL SYNTHESIZED THEREFROM
A system for producing a soft magnetic material having a core-shell structure includes a gas supply configured to supply at least one gas; and a furnace configured to receive the at least one gas. A flow of the at least one gas is configured to be varied to provide a shell on a particle in the furnace.
B22F 1/00 - Poudres métalliques; Traitement des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre ou d'améliorer leurs propriétés
B22F 1/02 - Traitement particulier des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre, d'améliorer leurs propriétés; Poudres métalliques en soi, p.ex. mélanges de particules de compositions différentes comportant un enrobage des particules
B22F 9/24 - Fabrication des poudres métalliques ou de leurs suspensions; Appareils ou dispositifs spécialement adaptés à cet effet par un procédé chimique avec réduction de mélanges métalliques à partir de mélanges métalliques liquides, p.ex. de solutions
B82Y 30/00 - Nanotechnologie pour matériaux ou science des surfaces, p.ex. nanocomposites
An apparatus includes a motor having a rotor; and a stator, where the rotor is located at least partially in a rotor receiving area of the stator, where the stator includes at least one coil winding and teeth, where the at least one coil winding is located on at least some of the teeth, where the teeth include a first set of the teeth and a second set of the teeth, where the teeth of the first set of teeth are longer in a radial direction from the rotor receiving area than the teeth of the second set of teeth.
H02K 1/27 - Noyaux rotoriques à aimants permanents
H02K 7/06 - Moyens de transformation d'un mouvement alternatif en un mouvement circulaire ou vice versa
H02K 21/16 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants avec des aimants tournant à l'intérieur des induits avec des noyaux d'induits annulaires à pôles saillants
An apparatus includes a spindle platform; a traversing platform configured to move in a first direction; a lift system connected to the spindle platform and the traversing platform, the lift system configured to move the spindle platform in a second direction perpendicular to the first direction; a movable arm connected to the spindle platform, the movable arm including a first link connected to the spindle platform, a second link connected to the first link, and a third link connected to the second link, and a first actuator connected to the spindle platform and configured to cause a rotation of the first link, and a second actuator in the movable arm and configured to cause a rotation of the second link. The first actuator extends from the spindle platform into the first link to occupy a combined thickness of the spindle platform and the first link.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 3/02 - Manipulateurs de type à commande asservie, c. à d. manipulateurs dans lesquels l'unité de commande et l'unité commandée exécutent des mouvements correspondants dans l'espace comportant un couplage à parallélogramme entre l'unité de commande et l'unité commandée
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
An apparatus includes a spindle platform; a traversing platform configured to move in a first direction; a lift system connected to the spindle platform and the traversing platform, the lift system configured to move the spindle platform in a second direction perpendicular to the first direction; a movable arm connected to the spindle platform, the movable arm including a first link connected to the spindle platform, a second link connected to the first link, and a third link connected to the second link, and a first actuator connected to the spindle platform and configured to cause a rotation of the first link, and a second actuator in the movable arm and configured to cause a rotation of the second link. The first actuator extends from the spindle platform into the first link to occupy a combined thickness of the spindle platform and the first link.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
B25J 9/12 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs électriques
B25J 5/02 - Manipulateurs montés sur roues ou sur support mobile se déplaçant le long d'un chemin de guidage
33.
VACUUM-ENVIRONMENT ROBOT WITH DISTRIBUTED ACTUATORS
An apparatus includes a drive; a movable arm connected to the drive, the movable arm comprising a first link connected to the drive at a shoulder, a second link connected to the first link at an elbow, a third link connected to the second link at a wrist, and a fourth link connected to the second link at the wrist; at least one first actuator located in the second link configured to cause a rotation of the third link about the wrist; and at least one second actuator located in the second link configured to cause a rotation of the fourth link about the wrist, One or more of a thermal management, a power distribution, or a communication is effected through the second link.
B25J 15/08 - Têtes de préhension avec des éléments en forme de doigts
B25J 15/10 - Têtes de préhension avec des éléments en forme de doigts avec au moins trois éléments en forme de doigts
H01L 21/683 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
An apparatus includes a drive; a movable arm connected to the drive, the movable arm comprising a first link connected to the drive at a shoulder, a second link connected to the first link at an elbow, a third link connected to the second link at a wrist, and a fourth link connected to the second link at the wrist; at least one first actuator located in the second link configured to cause a rotation of the third link about the wrist; and at least one second actuator located in the second link configured to cause a rotation of the fourth link about the wrist. One or more of a thermal management, a power distribution, or a communication is effected through the second link.
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
An apparatus including a frame, an optical sensor connected to the frame, and an environment separation barrier. The frame is configured to be attached to a housing of a motor assembly proximate an aperture which extends through the housing. The optical sensor comprises a camera. The environment separation barrier is configured to be connected to the housing at the aperture, where the environment separation barrier is at least partially transparent and located relative to the camera to allow the camera to view an image inside the housing through the environment separation barrier and the aperture.
H02K 5/22 - Parties auxiliaires des enveloppes non couvertes par les groupes , p.ex. façonnées pour former des boîtes à connexions ou à bornes
H02K 7/10 - Association structurelle avec des embrayages, des freins, des engrenages, des poulies ou des démarreurs mécaniques
B25J 13/08 - Commandes pour manipulateurs au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
H02K 5/10 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction avec des dispositions empêchant l'introduction de corps étrangers, p.ex. de l'eau ou des doigts
H02K 9/22 - Dispositions de refroidissement ou de ventilation par un matériau solide conducteur de la chaleur s'encastrant dans, ou mis en contact avec, le stator ou le rotor, p.ex. des ponts de chaleur
H02K 41/03 - Moteurs synchrones; Moteurs pas à pas; Moteurs à réluctance
H02K 21/44 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des distributeurs de flux tournants, les induits et les aimants restant fixes avec des enroulements induits bobinés sur les aimants
H02K 5/128 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction spécialement adaptées à un fonctionnement dans un liquide ou dans un gaz utilisant des manchons d'entrefer ou des disques à film d'air
B25J 9/12 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs électriques
H02K 3/30 - Enroulements caractérisés par leur matériau d'isolement
H02K 15/12 - Imprégnation, chauffage ou séchage des bobinages, des stators, des rotors ou des machines
H02K 3/44 - Protection contre l'humidité ou les agents chimiques; Enroulements spécialement adaptés à un fonctionnement dans un liquide ou un gaz
An apparatus including at least one drive; a first robot arm having a first upper arm, a first forearm and a first end effector. The first upper arm is connected to the at least one drive at a first axis of rotation. A second robot arm has a second upper arm, a second forearm and a second end effector. The second upper arm is connected to the at least one drive at a second axis of rotation which is spaced from the first axis of rotation. The first and second robot arms are configured to locate the end effectors in first retracted positions for stacking substrates located on the end effectors at least partially one above the another. The first and second robot arms are configured to extend the end effectors from the first retracted positions in a first direction along parallel first paths located at least partially directly one above the other. The first and second robot arms are configured to extend the end effectors in at least one second direction along second paths spaced from one another which are not located above one another. The first upper arm and the first forearm have different effective lengths. The second upper arm and the second forearm have different effective lengths.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
37.
Dual Arm with Opposed Dual End Effectors and No Vertical Wafer Overlap
An apparatus including a drive; and a movable arm assembly connected to the drive. The movable arm assembly includes a first arm and a second arm, where the first arm includes a first upper arm, a first forearm and a first end effector, and where the second arm includes a second upper arm, a second forearm and a second end effector. The first end effector includes at least two first substrate holding areas. The second end effector includes at least two second substrate holding areas. The drive and the movable arm assembly are configured to prevent the movable arm assembly from passing over top sides of substrates located on the first and second substrate holding areas.
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
A transport apparatus including a robot drive; an arm having a first end connected to the robot drive; and at least one end effector connected to a second end of the arm. The arm includes at least three links connected in series to form the arm. The arm is configured to be moved by the robot drive to move the at least one end effector among load locks and two or more sets of opposing process modules.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
39.
Robot having arm with end effector having bend portion
A transport apparatus including a drive with a drive axis and a first arm connected to the drive. The first arm includes a first link, a second link and an end effector connected in series with the drive. The end effector includes a substrate support section and a leg connecting the substrate support section to a wrist joint of the end effector with the second link. The leg has a first section connected to the wrist joint, a second section connected to the substrate support section, and a bend portion between the first and second sections such that the first and second sections are angled or offset relative to each other. Connection of the leg to the second link at the wrist joint is offset relative to a centerline of the substrate support section and offset relative to the drive axis.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
An apparatus including a movable arm; a robot drive connected to the movable arm; and a heat transfer system. The robot drive includes a first drive configured to extend and retract the movable arm and a second drive configured to move the movable arm and the first drive along a linear path. The heat transfer system includes a first heat transfer member on the base and a second heat transfer member, where the heat transfer system is configured to transfer heat from the first drive to the first heat transfer member and then from the first heat transfer member to the second heat transfer member. The first heat transfer member travels with the base, and the first heat transfer member moves relative to the second heat transfer member as the base moves relative to the slide.
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H05K 7/20 - Modifications en vue de faciliter la réfrigération, l'aération ou le chauffage
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
An apparatus including a drive having motors and coaxial drive shafts; an arm assembly having a first arm and a second arm; and a controller. The first arm includes a first upper arm, a first forearm, a first end effector, and a first transmission, where the first transmission includes a non-circular pulley, and where the first upper arm and the first forearm have unequal effective lengths. The second arm includes a second upper arm, a second forearm, a second end effector, and a second transmission, where the second upper arm and the second forearm have substantially equal effective lengths. The controller is configured to cause the drive to extend and retract the arms to move an upper substrate and a lower substrate on the substrate holding areas such that the arm assembly and upper substrate do not travel over the lower substrate.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
An apparatus including a drive having motors and at least two coaxial drive shafts; an arm connected to the drive, where the arm is configured to support at least one substrate thereon; and a transmission connected between the drive and the arm, where the transmission includes an eccentric bearing and a linkage, where the linkage is connected between a first one of the coaxial drive shafts and the arm, where the eccentric bearing is connected to a second one of the coaxial drive shafts, where the arm comprises an aperture, where the eccentric bearing is located in the aperture, and where the eccentric bearing is configured to contact the arm in the aperture.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B65G 47/92 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux comportant des pinces électrostatiques ou magnétiques
H02K 7/075 - Moyens de transformation d'un mouvement alternatif en un mouvement circulaire ou vice versa utilisant des manivelles ou des excentriques
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
An apparatus including a drive having motors and coaxial drive shafts; an arm assembly having a first arm and a second arm; and a controller, The first arm includes a first upper arm, a first forearm, a first end effector, and a first transmission, where the first transmission includes a non-circular pulley, and where the first upper arm and the first forearm have unequal effective lengths, The second arm includes a second upper arm, a second forearm, a second end effector, and a second transmission, where the second upper arm and the second forearm have substantially equal effective lengths. The controller is configured to cause the drive to extend and retract the arms to move an upper substrate and a lower substrate on the substrate holding areas such that the arm assembly and upper substrate do not travel over the lower substrate.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
A system for forming a bulk material having insulated boundaries from a metal material and a source of an insulating material is provided. The system includes a heating device, a deposition device, a coating device, and a support configured to support the bulk material. The heating device heats the metal material to form particles having a softened or molten state and the coating device coats the metal material with the insulating material from the source and the deposition device deposits particles of the metal material in the softened or molten state on the support to form the bulk material having insulated boundaries.
B22D 23/00 - Procédés de coulée non prévus dans les groupes
B22F 3/115 - Fabrication de pièces ou d'objets à partir de poudres métalliques, caractérisée par le mode de compactage ou de frittage; Appareils spécialement adaptés à cet effet par pulvérisation de métal fondu, c.à d. frittage par pulvérisation, moulage par pulvérisation
C23C 6/00 - Revêtement par coulée du matériau fondu sur le substrat
H01F 1/24 - Aimants ou corps magnétiques, caractérisés par les matériaux magnétiques appropriés; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés magnétiques en matériaux inorganiques caractérisés par leur coercivité en matériaux magnétiques doux métaux ou alliages sous forme de particules, p.ex. de poudre comprimées, frittées ou agglomérées les particules étant isolées
B05C 5/00 - Appareillages dans lesquels un liquide ou autre matériau fluide est projeté, versé ou répandu sur la surface de l'ouvrage
H01F 41/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication ou à l'assemblage des aimants, des inductances ou des transformateurs; Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des matériaux caractérisés par leurs propriétés magnétiques pour la fabrication de noyaux, bobines ou aimants
An apparatus includes a first arm comprising an unequal-link linkage having a first end effector; a second arm comprising an equal-link linkage having a second end effector; and a drive unit coupled to the first arm and the second arm, the drive unit being configured to move the first arm and the second arm. The first end effector is asymmetric to the second end effector. The first end effector is angled relative to the second end effector such that a first substrate support section on the first end effector is not positioned over or under a second substrate support section on the second end effector.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
An apparatus includes a first arm comprising an unequal-link linkage having a first end effector; a second arm comprising an equal-link linkage having a second end effector; and a drive unit coupled to the first arm and the second arm, the drive unit being configured to move the first arm and the second arm. The first end effector is asymmetric to the second end effector, The first end effector is angled relative to the second end effector such that a first substrate support section on the first end effector is not positioned over or under a second substrate support section on the second end effector.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
An apparatus including a first device configured to support a substrate thereon; a first transport having the first device connected thereto, where the first transport includes: rails or maglev guides; a magnetic system configured to vertically space the first device over the rails or maglev guides with a gap between the first device and the rails or maglev guides, where the magnetic system comprises a first electromagnetic actuator at a first corner of a first side of the first device, a second electromagnetic actuator at a second corner of the first side of the first device, and a third electromagnetic actuator at a second opposite side of the first device, where the third electromagnetic actuator is not located proximate a corner of three sides of the first device; and a linear actuator configured to move the first device along the rails or maglev guides.
B65G 47/92 - Dispositifs pour saisir et déposer les articles ou les matériaux comportant des pinces électrostatiques ou magnétiques
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H02N 15/00 - Dispositifs de maintien ou de lévitation utilisant l'attraction ou la répulsion magnétique, non prévus ailleurs
H02K 11/21 - Dispositifs pour détecter la vitesse ou la position, ou actionnés par des valeurs de ces variables
H02K 41/03 - Moteurs synchrones; Moteurs pas à pas; Moteurs à réluctance
48.
Radar based position measurement for robot systems
An apparatus including at least one emitter configured to emit energy; at least one receiver configured to receive the emitted energy, where the at least one emitter is mounted on at least one of: a robot arm, an end effector of the robot arm, a substrate on the robot arm, or a substrate process module, where the at least one receiver is mounted on at least one of: the robot arm, the end effector of the robot arm, the substrate on the robot arm, or the substrate process module.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
An apparatus including a linear transport configured to move in a transport chamber along a straight path; a robot connected to the linear transport, where the robot includes a robot drive and a robot arm connected to the robot drive, where the robot arm is a dual-link arm having a first link connected to the robot drive and a second link forming an end effector for supporting a substrate thereon; a controller connected to the linear transport and to the robot drive, where the controller is configured to provide movement of the linear transport along the straight path at a same time as extension and retraction of the dual-link arm to thereby move the end effector into or out of a substrate process chamber or a substrate holding area while both the linear transport and the dual-link arm are moving.
An apparatus including a first device configured to support a substrate thereon; a first transport having the first device connected thereto, where the first transport includes: rails or maglev guides; a magnetic system configured to vertically space the first device over the rails or maglev guides with a gap between the first device and the rails or maglev guides, where the magnetic system comprises a first electromagnetic actuator at a first corner of a first side of the first device, a second electromagnetic actuator at a second corner of the first side of the first device, and a third electromagnetic actuator at a second opposite side of the first device, where the third electromagnetic actuator is not located proximate a corner of three sides of the first device; and a linear actuator configured to move the first device along the rails or maglev guides.
An apparatus including at least one emitter configured to emit energy; at least one receiver configured to receive the emitted energy, where the at least one emitter is mounted on at least one of: a robot arm, an end effector of the robot arm, a substrate on the robot arm, or a substrate process module, where the at least one receiver is mounted on at least one of: the robot arm, the end effector of the robot arm, the substrate on the robot arm, or the substrate process module.
H01L 21/68 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
B25J 13/08 - Commandes pour manipulateurs au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
An apparatus including a first base plate, where the first base plate is configured to have at least one linear drive component and/or at least one power coupling component connected to a top side of the first base plate, where the first base plate is configured to be located inside a vacuum chamber; and a plurality of rails or transport guides on the top side of the first base plate. An end of the first base plate includes at least one alignment feature configured to align an end of the first base plate to an end of a second base plate. The first base plate is configured to provide, in combination with the second base plate, a structural platform inside the vacuum chamber for a robot drive to move in the vacuum chamber along the plurality of transport guides.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 5/02 - Manipulateurs montés sur roues ou sur support mobile se déplaçant le long d'un chemin de guidage
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
B25J 9/12 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs électriques
An apparatus including a linear transport configured to move in a transport chamber along a straight path; a robot connected to the linear transport, where the robot includes a robot drive and a robot arm connected to the robot drive, where the robot arm is a dual-link arm having a first link connected to the robot drive and a second link forming an end effector for supporting a substrate thereon; a controller connected to the linear transport and to the robot drive, where the controller is configured to provide movement of the linear transport along the straight path at a same time as extension and retraction of the dual-link arm to thereby move the end effector into or out of a substrate process chamber or a substrate holding area while both the linear transport and the dual-link arm are moving.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 5/02 - Manipulateurs montés sur roues ou sur support mobile se déplaçant le long d'un chemin de guidage
B65G 49/07 - Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables pour des plaquettes semi-conductrices
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
An apparatus including a first base plate, where the first base plate is configured to have at least one linear drive component and/or at least one power coupling component connected to a top side of the first base plate, where the first base plate is configured to be located inside a vacuum chamber; and a plurality of rails or transport guides on the top side of the first base plate. An end of the first base plate includes at least one alignment feature configured to align an end of the first base plate to an end of a second base plate, The first base plate is configured to provide, in combination with the second base plate, a structural platform inside the vacuum chamber for a robot drive to move in the vacuum chamber along the plurality of transport guides.
H01L 21/00 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
A material comprises at least one layer of a plurality of domains, each domain being flattened in a first direction and elongated in a second direction normal to the first direction. The flattened and elongated domains define an anisotropic microstructure that facilitates a magnetic flux flow in the second direction.
H02K 1/02 - MACHINES DYNAMO-ÉLECTRIQUES - Détails du circuit magnétique caractérisés par le matériau magnétique
H02K 15/02 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication, l'assemblage, l'entretien ou la réparation des machines dynamo-électriques des corps statoriques ou rotoriques
H01F 41/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication ou à l'assemblage des aimants, des inductances ou des transformateurs; Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des matériaux caractérisés par leurs propriétés magnétiques pour la fabrication de noyaux, bobines ou aimants
H01F 1/33 - Aimants ou corps magnétiques, caractérisés par les matériaux magnétiques appropriés; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés magnétiques en matériaux inorganiques caractérisés par leur coercivité en matériaux magnétiques doux particules métalliques ayant un revêtement d'oxyde
B22F 1/00 - Poudres métalliques; Traitement des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre ou d'améliorer leurs propriétés
B22F 5/10 - Fabrication de pièces ou d'objets à partir de poudres métalliques caractérisée par la forme particulière du produit à réaliser d'articles avec des cavités ou des trous, non prévue dans les sous-groupes précédents
B22F 1/02 - Traitement particulier des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre, d'améliorer leurs propriétés; Poudres métalliques en soi, p.ex. mélanges de particules de compositions différentes comportant un enrobage des particules
B22F 3/115 - Fabrication de pièces ou d'objets à partir de poudres métalliques, caractérisée par le mode de compactage ou de frittage; Appareils spécialement adaptés à cet effet par pulvérisation de métal fondu, c.à d. frittage par pulvérisation, moulage par pulvérisation
An apparatus including a controller; a robot drive; a robot arm connected to the robot drive, where the robot arm has links including an upper arm, a first forearm connected to a first end of the upper arm, a second forearm connected to a second opposite end of the upper arm, a first end effector connected to the first forearm and a second end effector connected to the second forearm; and a transmission connecting the robot drive to the first and second forearms and the first and second end effectors. The transmission is configured to rotate the first and second forearms relative to the upper arm and rotate the first and second end effectors on their respective first and second forearms. The upper arm is substantially rigid and movement of the upper arm by the robot drive moves both the first and second forearms in opposite directions.
G06F 7/00 - Procédés ou dispositions pour le traitement de données en agissant sur l'ordre ou le contenu des données maniées
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
A substrate transport apparatus including a lower linearly driven effector structure with spaced paddles, and an upper linearly driven end effector structure with spaced paddles and no rotating joints above a paddle of the lower end effector structure. A drive subsystem is configured to linearly drive the lower end effector structure and to linearly drive the upper end effector structure independent of the lower end effector structure.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
58.
Structures utilizing a structured magnetic material and methods for making
A motor comprises a stator comprising at least one core; a coil wound on the at least one core of the stator; a rotor having a rotor pole and being rotatably mounted relative to the stator; and at least one magnet disposed between the rotor and the stator. The at least one core comprises a composite material defined by iron-containing particles having an alumina layer disposed thereon.
H01F 1/24 - Aimants ou corps magnétiques, caractérisés par les matériaux magnétiques appropriés; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés magnétiques en matériaux inorganiques caractérisés par leur coercivité en matériaux magnétiques doux métaux ou alliages sous forme de particules, p.ex. de poudre comprimées, frittées ou agglomérées les particules étant isolées
H01F 41/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication ou à l'assemblage des aimants, des inductances ou des transformateurs; Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des matériaux caractérisés par leurs propriétés magnétiques pour la fabrication de noyaux, bobines ou aimants
H02K 21/12 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants
H02K 21/16 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants avec des aimants tournant à l'intérieur des induits avec des noyaux d'induits annulaires à pôles saillants
H02K 1/02 - MACHINES DYNAMO-ÉLECTRIQUES - Détails du circuit magnétique caractérisés par le matériau magnétique
B22F 3/115 - Fabrication de pièces ou d'objets à partir de poudres métalliques, caractérisée par le mode de compactage ou de frittage; Appareils spécialement adaptés à cet effet par pulvérisation de métal fondu, c.à d. frittage par pulvérisation, moulage par pulvérisation
B22F 1/16 - Particules métalliques revêtues d'un non-métal
A soft magnetic material comprises a plurality of iron-containing particles and an insulating layer on the iron-containing particles, the insulating layer comprising an oxide. The soft magnetic material is an aggregate of permeable micro-domains separated by insulation boundaries.
C23C 4/08 - Matériaux métalliques ne contenant que des éléments métalliques
B22F 1/02 - Traitement particulier des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre, d'améliorer leurs propriétés; Poudres métalliques en soi, p.ex. mélanges de particules de compositions différentes comportant un enrobage des particules
H01F 1/24 - Aimants ou corps magnétiques, caractérisés par les matériaux magnétiques appropriés; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés magnétiques en matériaux inorganiques caractérisés par leur coercivité en matériaux magnétiques doux métaux ou alliages sous forme de particules, p.ex. de poudre comprimées, frittées ou agglomérées les particules étant isolées
H01F 1/33 - Aimants ou corps magnétiques, caractérisés par les matériaux magnétiques appropriés; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés magnétiques en matériaux inorganiques caractérisés par leur coercivité en matériaux magnétiques doux particules métalliques ayant un revêtement d'oxyde
60.
Direct-drive flexure-mechanism vacuum control valve
A valve including a first member including a fluid flow aperture therethrough; a second member movably connected to the first member between an open position and a closed position relative to the fluid flow aperture; at least one electromagnetic actuator connected between the first member and the second member, where the at least one electromagnetic actuator is configured to move the second member between the open position and the closed position, where the at least one electromagnetic actuator includes a first electromagnetic actuator having a stationary portion connected to the first member and a movable portion connected to the second member; and at least one mechanical flexure connected between the first member and the movable member of the actuator, where the at least one mechanical flexure constrains motion of the movable member to along a substantially straight line.
F16K 31/06 - Moyens de fonctionnement; Dispositifs de retour à la position de repos magnétiques utilisant un aimant
F16K 51/02 - Autres détails non particuliers aux types de soupapes ou clapets ou autres appareils d'obturation spécialement conçus pour les installations de vide poussé
F16K 3/10 - Robinets-vannes ou tiroirs, c. à d. dispositifs obturateurs dont l'élément de fermeture glisse le long d'un siège pour l'ouverture ou la fermeture à faces d'obturation planes; Garnitures d'étanchéité à cet effet avec éléments de fermeture articulés à pivot et dispositions particulières pour tenir écartées les faces d'obturation ou pour les presser l'une contre l'autre
F16K 31/04 - Moyens de fonctionnement; Dispositifs de retour à la position de repos magnétiques utilisant un moteur
F16K 3/14 - Robinets-vannes ou tiroirs, c. à d. dispositifs obturateurs dont l'élément de fermeture glisse le long d'un siège pour l'ouverture ou la fermeture à faces d'obturation planes; Garnitures d'étanchéité à cet effet à faces d'obturation en forme de coin et dispositions particulières pour tenir écartées les faces d'obturation ou pour les presser l'une contre l'autre
F16K 3/12 - Robinets-vannes ou tiroirs, c. à d. dispositifs obturateurs dont l'élément de fermeture glisse le long d'un siège pour l'ouverture ou la fermeture à faces d'obturation planes; Garnitures d'étanchéité à cet effet à faces d'obturation en forme de coin
F16K 37/00 - Moyens particuliers portés par ou sur les soupapes ou autres dispositifs d'obturation pour repérer ou enregistrer leur fonctionnement ou pour permettre de donner l'alarme
61.
DIRECT-DRIVE FLEXURE-MECHANISM VACUUM CONTROL VALVE
A valve including a first member including a fluid flow aperture therethrough; a second member movably connected to the first member between an open position and a closed position relative to the fluid flow aperture; at least one electromagnetic actuator connected between the first member and the second member, where the at least one electromagnetic actuator is configured to move the second member between the open position and the closed position, where the at least one electromagnetic actuator includes a first electromagnetic actuator having a stationary portion connected to the first member and a movable portion connected to the second member; and at least one mechanical flexure connected between the first member and the movable member of the actuator, where the at least one mechanical flexure constrains motion of the movable member to along a substantially straight line.
F16K 1/00 - Soupapes ou clapets, c. à d. dispositifs obturateurs dont l'élément de fermeture possède au moins une composante du mouvement d'ouverture ou de fermeture perpendiculaire à la surface d'obturation
F16K 3/00 - Robinets-vannes ou tiroirs, c. à d. dispositifs obturateurs dont l'élément de fermeture glisse le long d'un siège pour l'ouverture ou la fermeture
F16K 31/02 - Moyens de fonctionnement; Dispositifs de retour à la position de repos magnétiques
F16K 31/06 - Moyens de fonctionnement; Dispositifs de retour à la position de repos magnétiques utilisant un aimant
An apparatus including a robot drive, a first arm connected to the robot drive, and a second arm connected to the robot drive. The first arm includes a first upper arm, a first forearm and a first end effector. The second arm includes a second upper arm, a second forearm and a second end effector. The first and second upper arms are connected to a first drive shaft of the robot drive. The first and second upper arms are either a same member or two members stationarily connected to one another. While the first arm is being extended and retracted, straight movement of the first end effector is provided relative to the robot drive along an axis which intersects a drive axis of the robot drive, where a wrist joint of the first arm does not intersect the drive axis while the first arm is being extended and retracted.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
An apparatus including a frame, an optical sensor connected to the frame, and an environment separation barrier. The frame is configured to be attached to a housing of a motor assembly proximate an aperture which extends through the housing. The optical sensor comprises a camera. The environment separation barrier is configured to be connected to the housing at the aperture, where the environment separation barrier is at least partially transparent and located relative to the camera to allow the camera to view an image inside the housing through the environment separation barrier and the aperture.
H02K 5/22 - Parties auxiliaires des enveloppes non couvertes par les groupes , p.ex. façonnées pour former des boîtes à connexions ou à bornes
H02K 7/10 - Association structurelle avec des embrayages, des freins, des engrenages, des poulies ou des démarreurs mécaniques
B25J 13/08 - Commandes pour manipulateurs au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
H02K 5/10 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction avec des dispositions empêchant l'introduction de corps étrangers, p.ex. de l'eau ou des doigts
H02K 9/22 - Dispositions de refroidissement ou de ventilation par un matériau solide conducteur de la chaleur s'encastrant dans, ou mis en contact avec, le stator ou le rotor, p.ex. des ponts de chaleur
H02K 41/03 - Moteurs synchrones; Moteurs pas à pas; Moteurs à réluctance
H02K 21/44 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des distributeurs de flux tournants, les induits et les aimants restant fixes avec des enroulements induits bobinés sur les aimants
H02K 5/128 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction spécialement adaptées à un fonctionnement dans un liquide ou dans un gaz utilisant des manchons d'entrefer ou des disques à film d'air
B25J 9/12 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs électriques
H02K 3/30 - Enroulements caractérisés par leur matériau d'isolement
H02K 15/12 - Imprégnation, chauffage ou séchage des bobinages, des stators, des rotors ou des machines
H02K 3/44 - Protection contre l'humidité ou les agents chimiques; Enroulements spécialement adaptés à un fonctionnement dans un liquide ou un gaz
64.
System and method for detection and correction of robot payload position
Disclosed herein is a method. The method includes moving a payload through a motion path proximate at least one sensor. Detecting edges of the payload such that at least three points on at least two edges are detected. Capturing a position when the at least one sensor detects at least one edge of the payload.
Disclosed herein is a method. The method includes moving a payload through a motion path proximate at least one sensor. Detecting edges of the payload such that at least three points on at least two edges are detected. Capturing a position when the at least one sensor detects at least one edge of the payload.
B25J 13/08 - Commandes pour manipulateurs au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
G01B 11/02 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
G01B 11/03 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur en mesurant les coordonnées de points
G01B 11/04 - Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de techniques optiques pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur spécialement adaptés pour mesurer la longueur ou la largeur d'objets en mouvement
A substrate transport apparatus including a lower linearly driven effector structure with spaced paddles, and an upper linearly driven end effector structure with spaced paddles and no rotating joints above a paddle of the lower end effector structure. A drive subsystem is configured to linearly drive the lower end effector structure and to linearly drive the upper end effector structure independent of the lower end effector structure.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
An apparatus includes a motor having a rotor; and a stator, where the rotor is located at least partially in a rotor receiving area of the stator, where the stator includes at least one coil winding and teeth, where the at least one coil winding is located on at least some of the teeth, where the teeth include a first set of the teeth and a second set of the teeth, where the teeth of the first set of teeth are longer in a radial direction from the rotor receiving area than the teeth of the second set of teeth.
H02K 1/27 - Noyaux rotoriques à aimants permanents
H02K 7/06 - Moyens de transformation d'un mouvement alternatif en un mouvement circulaire ou vice versa
H02K 21/16 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants avec des aimants tournant à l'intérieur des induits avec des noyaux d'induits annulaires à pôles saillants
An apparatus including a first device configured to support at least one substrate thereon; and a first transport having the device connected thereto. The transport is configured to carry the device. The transport includes a plurality of supports which are movable relative to one another along a linear path; at least one magnetic bearing which at least partially couples the supports to one another. A first one of the magnetic bearings includes a first permanent magnet and a second magnet. The first permanent magnet is connected to a first one of the supports. A magnetic field adjuster is connected to the first support which is configured to move the first permanent magnet and/or vary influence of a magnetic field of the first permanent magnet relative to the second magnet.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
F16C 32/04 - Paliers non prévus ailleurs faisant usage de moyens de support magnétiques ou électriques
H02J 50/10 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif
H02J 50/12 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif du type couplage à résonance
H02J 50/90 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique mettant en œuvre la détection ou l'optimisation de la position, p.ex. de l'alignement
H02J 50/05 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage capacitif
An apparatus including a controller; a robot drive; a robot arm connected to the robot drive, where the robot arm has links including an upper arm, a first forearm connected to a first end of the upper arm, a second forearm connected to a second opposite end of the upper arm, a first end effector connected to the first forearm and a second end effector connected to the second forearm; and a transmission connecting the robot drive to the first and second forearms and the first and second end effectors. The transmission is configured to rotate the first and second forearms relative to the upper arm and rotate the first and second end effectors on their respective first and second forearms. The upper arm is substantially rigid and movement of the upper arm by the robot drive moves both the first and second forearms in opposite directions.
G06F 7/00 - Procédés ou dispositions pour le traitement de données en agissant sur l'ordre ou le contenu des données maniées
G06F 19/00 - Équipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des applications spécifiques (spécialement adaptés à des fonctions spécifiques G06F 17/00;systèmes ou méthodes de traitement de données spécialement adaptés à des fins administratives, commerciales, financières, de gestion, de surveillance ou de prévision G06Q;informatique médicale G16H)
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
70.
MATERIAL-HANDLING ROBOT WITH MULTIPLE END-EFFECTORS
An apparatus including a robot drive having motors and coaxial drive shafts connected to the motors; and a robot arm connected to the robot drive. The robot arm includes two upper arms, a first set of forearms connected to a first one of the upper arms, a second set of forearms connected to a second one of the upper arms and end effectors connected to respective ones of the forearms. The first and second upper arms are connected to respective first and second ones of the coaxial drive shafts. The first set of the forearms is mounted on the first upper arm and connected to a third one of the coaxial drive shafts by respective first and second drive belt assemblies. The second set of the forearms is mounted to the second upper arm and connected to a fourth one of the coaxial drive shafts by respective third and fourth drive belt assemblies.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/06 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des bras à articulations multiples
An apparatus including a robot drive having motors and coaxial drive shafts connected to the motors; and a robot arm connected to the robot drive. The robot arm includes two upper arms, a first set of forearms connected to a first one of the upper arms, a second set of forearms connected to a second one of the upper arms and end effectors connected to respective ones of the forearms. The first and second upper arms are connected to respective first and second ones of the coaxial drive shafts. The first set of the forearms is mounted on the first upper arm and connected to a third one of the coaxial drive shafts by respective first and second drive belt assemblies. The second set of the forearms is mounted to the second upper arm and connected to a fourth one of the coaxial drive shafts by respective third and fourth drive belt assemblies.
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
A method including, based upon a desired path of a reference point from a start position to an end position, where the reference point is on an end effector on a robot arm, determine an included angle that corresponds to the start position and the end position, calculating a trajectory in radial coordinates of the reference point on the end effector at least partially based upon the included angles; calculating corresponding angular coordinates of the reference point on the end effector, based on the calculated radial coordinates, so that the reference point follows the desired path; using a modified formulation of inverse kinematics, converting the radial and angular coordinates supplemented with the included angles of the trajectory and corresponding angular velocity and acceleration of the end effector to form motion setpoints for the robot arm; and controlling the motors of the robot drive.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
A motor comprises a stator comprising at least one core; a coil wound on the at least one core of the stator; a rotor having a rotor pole and being rotatably mounted relative to the stator; and at least one magnet disposed between the rotor and the stator. The at least one core comprises a composite material defined by iron-containing particles having an alumina layer disposed thereon.
H01F 1/24 - Aimants ou corps magnétiques, caractérisés par les matériaux magnétiques appropriés; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés magnétiques en matériaux inorganiques caractérisés par leur coercivité en matériaux magnétiques doux métaux ou alliages sous forme de particules, p.ex. de poudre comprimées, frittées ou agglomérées les particules étant isolées
H01F 41/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication ou à l'assemblage des aimants, des inductances ou des transformateurs; Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des matériaux caractérisés par leurs propriétés magnétiques pour la fabrication de noyaux, bobines ou aimants
H02K 21/12 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants
H02K 21/16 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants avec des aimants tournant à l'intérieur des induits avec des noyaux d'induits annulaires à pôles saillants
H02K 1/02 - MACHINES DYNAMO-ÉLECTRIQUES - Détails du circuit magnétique caractérisés par le matériau magnétique
B22F 1/02 - Traitement particulier des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre, d'améliorer leurs propriétés; Poudres métalliques en soi, p.ex. mélanges de particules de compositions différentes comportant un enrobage des particules
B22F 3/115 - Fabrication de pièces ou d'objets à partir de poudres métalliques, caractérisée par le mode de compactage ou de frittage; Appareils spécialement adaptés à cet effet par pulvérisation de métal fondu, c.à d. frittage par pulvérisation, moulage par pulvérisation
A motor comprises a stator comprising at least one core; a coil wound on the at least one core of the stator; a rotor having a rotor pole and being rotatably mounted relative to the stator; and at least one magnet disposed between the rotor and the stator. The at least one core comprises a composite material defined by iron-containing particles having an alumina layer disposed thereon.
H01F 1/24 - Aimants ou corps magnétiques, caractérisés par les matériaux magnétiques appropriés; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés magnétiques en matériaux inorganiques caractérisés par leur coercivité en matériaux magnétiques doux métaux ou alliages sous forme de particules, p.ex. de poudre comprimées, frittées ou agglomérées les particules étant isolées
H01F 41/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication ou à l'assemblage des aimants, des inductances ou des transformateurs; Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des matériaux caractérisés par leurs propriétés magnétiques pour la fabrication de noyaux, bobines ou aimants
H02K 21/12 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants
H02K 21/16 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants avec des aimants tournant à l'intérieur des induits avec des noyaux d'induits annulaires à pôles saillants
H02K 1/02 - MACHINES DYNAMO-ÉLECTRIQUES - Détails du circuit magnétique caractérisés par le matériau magnétique
B22F 1/02 - Traitement particulier des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre, d'améliorer leurs propriétés; Poudres métalliques en soi, p.ex. mélanges de particules de compositions différentes comportant un enrobage des particules
B22F 3/115 - Fabrication de pièces ou d'objets à partir de poudres métalliques, caractérisée par le mode de compactage ou de frittage; Appareils spécialement adaptés à cet effet par pulvérisation de métal fondu, c.à d. frittage par pulvérisation, moulage par pulvérisation
A transport apparatus including a robot drive; an arm having a first end connected to the robot drive; and at least one end effector connected to a second end of the arm. The arm includes at least three links connected in series to form the arm. The arm is configured to be moved by the robot drive to move the at least one end effector among load locks and two or more sets of opposing process modules.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
An apparatus including a movable arm; a robot drive connected to the movable arm; and a heat transfer system. The robot drive includes a first drive configured to extend and retract the movable arm and a second drive configured to move the movable arm and the first drive along a linear path. The heat transfer system includes a first heat transfer member on the base and a second heat transfer member, where the heat transfer system is configured to transfer heat from the first drive to the first heat transfer member and then from the first heat transfer member to the second heat transfer member. The first heat transfer member travels with the base, and the first heat transfer member moves relative to the second heat transfer member as the base moves relative to the slide.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H05K 7/20 - Modifications en vue de faciliter la réfrigération, l'aération ou le chauffage
An apparatus including a plurality of robot arm links movably connected to one another, where a first one of the robot arm links includes a frame, where the frame has a first end movably connected onto a second one of the robot arm links; and at least one vibration damper arrangement on the frame of the first robot arm link, where the at least one vibration damper arrangement includes at least one viscoelastic element connected to the frame of the first robot arm link by a connection such that, as the frame of the first robot arm link experiences vibrations, the at least one viscoelastic element dampens the vibrations in the frame of the first robot arm link based upon viscoelasticity and the connection of the at least one viscoelastic element to the frame of the first robot arm link.
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
F16F 9/30 - Ressorts, amortisseurs de vibrations, amortisseurs de chocs ou amortisseurs de mouvement de structure similaire, utilisant un fluide ou moyen équivalent comme agent d'amortissement avec un matériau solide ou semi-solide, p.ex. des masses pâteuses, comme agent d'amortissement
78.
Movable power coupling and a robot with movable power coupling
An apparatus comprises a first induction section comprising a first core and a first coil on the first core. A second induction section comprises a second core and a second coil on the second core. The first core comprises rail extensions, where at least two of the rail extensions extend from opposite ends of the first core. The second core comprises shoe portions located at respective ones of the rail extensions, where a gap is provided between each of the rail extensions and respective ones of the shoe portion. The second induction section is configured to move relative to the first induction section in a path along the extensions. The first induction section is configured to induce current in the second induction section, including when the second core moves relative to the first core along the extensions, to provide a contactless induction coupling between the first induction section and the second induction section.
B60L 5/00 - Collecteurs de courant pour lignes d'alimentation en énergie sur les véhicules propulsés électriquement
B60M 7/00 - Lignes ou rails d'alimentation en énergie spécialement adaptés pour véhicules à propulsion électrique d'un type particuliers, p.ex. véhicules suspendus, téléfériques, chemins de fer souterrains
B60L 9/00 - Propulsion électrique par source d'énergie extérieure au véhicule
H02J 50/10 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif
H02J 50/12 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif du type couplage à résonance
B60L 9/08 - Propulsion électrique par source d'énergie extérieure au véhicule utilisant des moteurs à courant continu alimentés par des lignes à courant alternatif
An apparatus including at least one drive; a first robot arm having a first upper arm, a first forearm and a first end effector. The first upper arm is connected to the at least one drive at a first axis of rotation. A second robot arm has a second upper arm, a second forearm and a second end effector. The second upper arm is connected to the at least one drive at a second axis of rotation which is spaced from the first axis of rotation. The first and second robot arms are configured to locate the end effectors in first retracted positions for stacking substrates located on the end effectors at least partially one above the another. The first and second robot arms are configured to extend the end effectors from the first retracted positions in a first direction along parallel first paths located at least partially directly one above the other. The first and second robot arms are configured to extend the end effectors in at least one second direction along second paths spaced from one another which are not located above one another. The first upper arm and the first forearm have different effective lengths. The second upper arm and the second forearm have different effective lengths.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H01L 21/687 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le maintien ou la préhension en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
An apparatus including a movable arm; a robot drive connected to the movable arm; and a heat transfer system. The robot drive includes a first drive configured to extend and retract the movable arm and a second drive configured to move the movable arm and the first drive along a linear path. The heat transfer system includes a first heat transfer member on the base and a second heat transfer member, where the heat transfer system is configured to transfer heat from the first drive to the first heat transfer member and then from the first heat transfer member to the second heat transfer member. The first heat transfer member travels with the base, and the first heat transfer member moves relative to the second heat transfer member as the base moves relative to the slide.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H05K 7/20 - Modifications en vue de faciliter la réfrigération, l'aération ou le chauffage
A transport apparatus including a robot drive; an arm having a first end connected to the robot drive; and at least one end effector connected to a second end of the arm. The arm includes at least three links connected in series to, form the arm. The arm is configured to be moved by the robot drive to move the at least one end effector among load locks and two or more sets of opposing process modules.
B66C 23/00 - Installations comportant essentiellement un palonnier, une flèche ou une structure triangulaire agissant comme bras de levier, montées de façon à permettre des mouvements de translation ou d'orientation dans des plans verticaux ou horizontaux, ou bie
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
82.
Movable power coupling and a robot with movable power coupling
An apparatus comprises a first induction section comprising a first core and a first coil on the first core. A second induction section comprises a second core and a second coil on the second core. The first core comprises rail extensions, where at least two of the rail extensions extend from opposite ends of the first core. The second core comprises shoe portions located at respective ones of the rail extensions, where a gap is provided between each of the rail extensions and respective ones of the shoe portion. The second induction section is configured to move relative to the first induction section in a path along the extensions. The first induction section is configured to induce current in the second induction section, including when the second core moves relative to the first core along the extensions, to provide a contactless induction coupling between the first induction section and the second induction section.
B60L 5/00 - Collecteurs de courant pour lignes d'alimentation en énergie sur les véhicules propulsés électriquement
B60M 7/00 - Lignes ou rails d'alimentation en énergie spécialement adaptés pour véhicules à propulsion électrique d'un type particuliers, p.ex. véhicules suspendus, téléfériques, chemins de fer souterrains
B60L 9/00 - Propulsion électrique par source d'énergie extérieure au véhicule
H02J 50/10 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif
H02J 50/12 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif du type couplage à résonance
B60L 9/08 - Propulsion électrique par source d'énergie extérieure au véhicule utilisant des moteurs à courant continu alimentés par des lignes à courant alternatif
83.
High capacity robot arm with adjustable joint at an end effector
A robot arm includes a wrist, an end effector, and an adjustable joint coupling the end effector to the wrist. The adjustable joint includes a member received in a socket. In one example, the member is a ball. In another example, the member is a tang. In both examples, an upper flange and a lower flange can be used to couple the wrist to a forearm.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
An apparatus including a first device configured to support at least one substrate thereon; and a first transport having the device connected thereto. The transport is configured to carry the device. The transport includes a plurality of supports which are movable relative to one another along a linear path; at least one magnetic bearing which at least partially couples the supports to one another. A first one of the magnetic bearings includes a first permanent magnet and a second magnet. The first permanent magnet is connected to a first one of the supports. A magnetic field adjuster is connected to the first support which is configured to move the first permanent magnet and/or vary influence of a magnetic field of the first permanent magnet relative to the second magnet.
H02K 7/09 - Association structurelle avec des paliers avec des paliers magnétiques
F16C 32/04 - Paliers non prévus ailleurs faisant usage de moyens de support magnétiques ou électriques
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H02J 50/12 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif du type couplage à résonance
H02J 50/90 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique mettant en œuvre la détection ou l'optimisation de la position, p.ex. de l'alignement
H02J 50/10 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif
H02J 50/05 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage capacitif
An apparatus including a housing; a motor having a stator and a rotor, where the stator is connected to the housing; an environment barrier extending between the stator and the rotor; and a sealing system connecting the environment barrier with the housing. The sealing system includes a first seal interface and a second seal interface. The first seal interface connects to the housing at a first diameter which is at least partially less than or equal to an inner diameter of the stator. The second seal interface connects to the housing at a second diameter which is at least partially greater than or equal to an outer diameter of the stator.
H02K 5/128 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction spécialement adaptées à un fonctionnement dans un liquide ou dans un gaz utilisant des manchons d'entrefer ou des disques à film d'air
H02K 11/21 - Dispositifs pour détecter la vitesse ou la position, ou actionnés par des valeurs de ces variables
H02K 16/00 - Machines avec plus d'un rotor ou d'un stator
86.
Robot having two robot arms sharing a common upper arm
An apparatus including a robot drive, a first arm having a first upper arm, a first forearm and a first end effector, where the first end effector comprises a first and second substrate support sections and a leg located between the first and second support sections which connects the substrate support sections to a wrist joint with the first forearm, and where a connection of the leg to the wrist joint is offset unequal distances relative to respective centerlines of the first and second substrate support sections, and a second arm having a second upper arm connected to the robot drive, where the first and second upper arms are connected to a first shaft of the robot drive to be rotated in unison, and where the wrist joint does not intersect the drive axis while the first arm is being extended and retracted.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
An apparatus including a motor housing which includes a plurality of electrical connector apertures through the motor housing; a plurality of first electrical connectors which include a projecting pin section; a plurality of second electrical connectors which include a socket section configured to receive a respective projecting pin section; and a casing configured to press the first electrical connectors against respective seals at the electrical connector apertures to seal the electrical connector apertures. The first electrical connectors project through the respective seals. The projecting pin sections are located in the respective socket sections of the second electrical connectors with a press-fit therebetween to thereby connect the first and second electrical connectors.
H02K 11/00 - Association structurelle de machines dynamo-électriques à des organes électriques ou à des dispositifs de blindage, de surveillance ou de protection
H02K 5/128 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction spécialement adaptées à un fonctionnement dans un liquide ou dans un gaz utilisant des manchons d'entrefer ou des disques à film d'air
H02K 5/22 - Parties auxiliaires des enveloppes non couvertes par les groupes , p.ex. façonnées pour former des boîtes à connexions ou à bornes
H02K 21/44 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des distributeurs de flux tournants, les induits et les aimants restant fixes avec des enroulements induits bobinés sur les aimants
H02K 41/03 - Moteurs synchrones; Moteurs pas à pas; Moteurs à réluctance
H02K 9/22 - Dispositions de refroidissement ou de ventilation par un matériau solide conducteur de la chaleur s'encastrant dans, ou mis en contact avec, le stator ou le rotor, p.ex. des ponts de chaleur
H02K 3/30 - Enroulements caractérisés par leur matériau d'isolement
H02K 3/44 - Protection contre l'humidité ou les agents chimiques; Enroulements spécialement adaptés à un fonctionnement dans un liquide ou un gaz
H02K 15/12 - Imprégnation, chauffage ou séchage des bobinages, des stators, des rotors ou des machines
An apparatus including a plurality of robot arm links movably connected to one another, where a first one of the robot arm links includes a frame, where the frame has a first end movably connected onto a second one of the robot arm links; and at least one vibration damper arrangement on the frame of the first robot arm link, where the at least one vibration damper arrangement includes at least one viscoelastic element connected to the frame of the first robot arm link by a connection such that, as the frame of the first robot arm link experiences vibrations r the at least one viscoelastic element dampens the vibrations in the frame of the first robot arm link based upon viscoelasticity and the connection of the at least one viscoelastic element to the frame of the first robot arm link.
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
A material comprises at least one layer of a plurality of domains, each domain being flattened in a first direction and elongated in a second direction normal to the first direction. The flattened and elongated domains define an anisotropic microstructure that facilitates a magnetic flux flow in the second direction.
H01F 41/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication ou à l'assemblage des aimants, des inductances ou des transformateurs; Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des matériaux caractérisés par leurs propriétés magnétiques pour la fabrication de noyaux, bobines ou aimants
H02K 1/06 - MACHINES DYNAMO-ÉLECTRIQUES - Détails du circuit magnétique caractérisés par la configuration, la forme ou le genre de structure
H02K 1/16 - Noyaux statoriques à encoches pour enroulements
H02K 21/24 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des induits fixes et des aimants tournants avec des aimants disposés axialement en face des induits, p.ex. dynamos de bicyclette du type moyeu
A material comprises at least one layer of a plurality of domains, each domain being flattened in a first direction and elongated in a second direction normal to the first direction. The flattened and elongated domains define an anisotropic microstructure that facilitates a magnetic flux flow in the second direction.
H02K 1/22 - Parties tournantes du circuit magnétique
H02K 1/02 - MACHINES DYNAMO-ÉLECTRIQUES - Détails du circuit magnétique caractérisés par le matériau magnétique
H01F 1/33 - Aimants ou corps magnétiques, caractérisés par les matériaux magnétiques appropriés; Emploi de matériaux spécifiés pour leurs propriétés magnétiques en matériaux inorganiques caractérisés par leur coercivité en matériaux magnétiques doux particules métalliques ayant un revêtement d'oxyde
H01F 41/02 - Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication ou à l'assemblage des aimants, des inductances ou des transformateurs; Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des matériaux caractérisés par leurs propriétés magnétiques pour la fabrication de noyaux, bobines ou aimants
H02K 15/02 - Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication, l'assemblage, l'entretien ou la réparation des machines dynamo-électriques des corps statoriques ou rotoriques
B22F 3/115 - Fabrication de pièces ou d'objets à partir de poudres métalliques, caractérisée par le mode de compactage ou de frittage; Appareils spécialement adaptés à cet effet par pulvérisation de métal fondu, c.à d. frittage par pulvérisation, moulage par pulvérisation
B22F 5/10 - Fabrication de pièces ou d'objets à partir de poudres métalliques caractérisée par la forme particulière du produit à réaliser d'articles avec des cavités ou des trous, non prévue dans les sous-groupes précédents
B22F 1/02 - Traitement particulier des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre, d'améliorer leurs propriétés; Poudres métalliques en soi, p.ex. mélanges de particules de compositions différentes comportant un enrobage des particules
B22F 1/00 - Poudres métalliques; Traitement des poudres métalliques, p.ex. en vue de faciliter leur mise en œuvre ou d'améliorer leurs propriétés
An apparatus including a plurality of robot arm links movably connected to one another, where a first one of the robot arm links includes a frame, where the frame has a first end movably connected onto a second one of the robot arm links; and at least one vibration damper arrangement on the frame of the first robot arm link, where the at least one vibration damper arrangement includes at least one viscoelastic element connected to the frame of the first robot arm link by a connection such that, as the frame of the first robot arm link experiences vibrations, the at least one viscoelastic element dampens the vibrations in the frame of the first robot arm link based upon viscoelasticity and the connection of the at least one viscoelastic element to the frame of the first robot arm link.
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
F16F 9/30 - Ressorts, amortisseurs de vibrations, amortisseurs de chocs ou amortisseurs de mouvement de structure similaire, utilisant un fluide ou moyen équivalent comme agent d'amortissement avec un matériau solide ou semi-solide, p.ex. des masses pâteuses, comme agent d'amortissement
An apparatus including a frame, an optical sensor connected to the frame, and an environment separation barrier. The frame is configured to be attached to a housing of a motor assembly proximate an aperture which extends through the housing. The optical sensor comprises a camera. The environment separation barrier is configured to be connected to the housing at the aperture, where the environment separation barrier is at least partially transparent and located relative to the camera to allow the camera to view an image inside the housing through the environment separation barrier and the aperture.
B25J 13/08 - Commandes pour manipulateurs au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
H02K 5/10 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction avec des dispositions empêchant l'introduction de corps étrangers, p.ex. de l'eau ou des doigts
H02K 5/22 - Parties auxiliaires des enveloppes non couvertes par les groupes , p.ex. façonnées pour former des boîtes à connexions ou à bornes
H02K 11/21 - Dispositifs pour détecter la vitesse ou la position, ou actionnés par des valeurs de ces variables
An apparatus has a frame and a plurality of clamps connected to the frame. At least one of the clamps is movable to releasably clamp a sheet of material on the apparatus. The plurality of clamps are configured and located on the frame to be limited to clamp on the sheet of material at least two edges of the sheet of material.
B25J 15/10 - Têtes de préhension avec des éléments en forme de doigts avec au moins trois éléments en forme de doigts
F16B 2/10 - Brides ou colliers, c. à d. dispositifs de fixation dont le serrage est effectué par des forces effectives autres que la résistance à la déformation inhérente au matériau dont est fait le dispositif externes c. à d. agissant par contraction utilisant des mâchoires sur pivot
F16B 2/18 - Brides ou colliers, c. à d. dispositifs de fixation dont le serrage est effectué par des forces effectives autres que la résistance à la déformation inhérente au matériau dont est fait le dispositif utilisant des cames, des leviers, des excentriques ou des rotules
An apparatus including a frame, an optical sensor connected to the frame, and an environment separation barrier. The frame is configured to be attached to a housing of a motor assembly proximate an aperture which extends through the housing. The optical sensor comprises a camera. The environment separation barrier is configured to be connected to the housing at the aperture, where the environment separation barrier is at least partially transparent and located relative to the camera to allow the camera to view an image inside the housing through the environment separation barrier and the aperture.
H02K 5/22 - Parties auxiliaires des enveloppes non couvertes par les groupes , p.ex. façonnées pour former des boîtes à connexions ou à bornes
H02K 7/10 - Association structurelle avec des embrayages, des freins, des engrenages, des poulies ou des démarreurs mécaniques
B25J 13/08 - Commandes pour manipulateurs au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
H02K 21/44 - Moteurs synchrones à aimants permanents; Génératrices synchrones à aimants permanents avec des distributeurs de flux tournants, les induits et les aimants restant fixes avec des enroulements induits bobinés sur les aimants
H02K 41/03 - Moteurs synchrones; Moteurs pas à pas; Moteurs à réluctance
H02K 5/10 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction avec des dispositions empêchant l'introduction de corps étrangers, p.ex. de l'eau ou des doigts
H02K 5/128 - Enveloppes ou enceintes caractérisées par leur configuration, leur forme ou leur construction spécialement adaptées à un fonctionnement dans un liquide ou dans un gaz utilisant des manchons d'entrefer ou des disques à film d'air
H02K 9/22 - Dispositions de refroidissement ou de ventilation par un matériau solide conducteur de la chaleur s'encastrant dans, ou mis en contact avec, le stator ou le rotor, p.ex. des ponts de chaleur
H02K 3/30 - Enroulements caractérisés par leur matériau d'isolement
H02K 3/44 - Protection contre l'humidité ou les agents chimiques; Enroulements spécialement adaptés à un fonctionnement dans un liquide ou un gaz
H02K 15/12 - Imprégnation, chauffage ou séchage des bobinages, des stators, des rotors ou des machines
An apparatus including a movable arm; a robot drive connected to the movable arm; and a heat transfer system. The robot drive includes a first drive configured to extend and retract the movable arm and a second drive configured to move the movable arm and the first drive along a linear path. The heat transfer system includes a first heat transfer member on the base and a second heat transfer member, where the heat transfer system is configured to transfer heat from the first drive to the first heat transfer member and then from the first heat transfer member to the second heat transfer member. The first heat transfer member travels with the base, and the first heat transfer member moves relative to the second heat transfer member as the base moves relative to the slide.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 19/00 - Accessoires adaptés aux manipulateurs, p.ex. pour contrôler, pour observer; Dispositifs de sécurité combinés avec les manipulateurs ou spécialement conçus pour être utilisés en association avec ces manipulateurs
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H05K 7/20 - Modifications en vue de faciliter la réfrigération, l'aération ou le chauffage
A substrate transport arm including a first link; a second link rotatably connected to the first link; a third link rotatably connected to the second link at a wrist joint; and a mechanical transmission having a pulley. The third link includes an end effector configured to support a substrate thereon. The mechanical transmission is connected to the third link to control rotation of the third link on the second link. The mechanical transmission is configured to control rotation of the third link as a function of an angle between the first and second links such that, as the first and second links are rotated relative to each other, the wrist joint follows a wrist path which includes a curved portion, and where a center of the substrate supported on the end effector is moved along a substantially straight substrate path as the wrist joint follows the curved portion.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
An apparatus including a stator configured to be stationarily connected to a housing; and a rotor configured to have a robot arm connected thereto. The rotor includes a shaft and an robot arm mount adjustably connected to the shaft. The stator and the rotor include mechanical reference locators to temporarily stationarily locate the robot arm mount to the stator for subsequently stationarily fixing the robot arm mount to the shaft.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 13/08 - Commandes pour manipulateurs au moyens de dispositifs sensibles, p.ex. à la vue ou au toucher
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H02K 99/00 - Matière non prévue dans les autres groupes de la présente sous-classe
An apparatus having a drive unit having a first drive axis rotatable about a first axis of rotation and a second drive axis rotatable about a second axis of rotation, the second drive axis being coaxial with and partially within the first drive axis and axially rotatable within the first drive axis. A robot arm has an upper arm connected to the drive unit at the first drive axis, a forearm coupled to the upper arm, the forearm being coupled to the upper arm at a first rotary joint and rotatable about the first rotary joint, the first rotary joint being actuatable by a first band arrangement coupled to the second drive axis, and an end effector coupled to the forearm, the end effector being coupled to the forearm at a second rotary joint and rotatable about the second rotary joint, the second rotary joint being actuatable by a second band arrangement coupled to the first rotary joint. The second band arrangement is configured to provide a variable transmission ratio.
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
An apparatus having a drive unit having a first drive axis rotatable about a first axis of rotation and a second drive axis rotatable about a second axis of rotation, the second drive axis being coaxial with and partially within the first drive axis and axially rotatable within the first drive axis. A robot arm has an upper arm connected to the drive unit at the first drive axis, a forearm coupled to the upper arm, the forearm being coupled to the upper arm at a first rotary joint and rotatable about the first rotary joint, the first rotary joint being actuatable by a first band arrangement coupled to the second drive axis, and an end effector coupled to the forearm, the end effector being coupled to the forearm at a second rotary joint and rotatable about the second rotary joint, the second rotary joint being actuatable by a second band arrangement coupled to the first rotary joint. The second band arrangement is configured to provide a variable transmission ratio.
H01L 21/677 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
H01L 21/67 - Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
B25J 9/04 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes par rotation d'au moins un bras en excluant le mouvement de la tête elle-même, p.ex. du type à coordonnées cylindriques ou polaires
B25J 9/10 - Manipulateurs à commande programmée caractérisés par des moyens pour régler la position des éléments manipulateurs
An apparatus comprises a first induction section comprising a first core and a first coil on the first core. A second induction section comprises a second core and a second coil on the second core. The first core comprises rail extensions, where at least two of the rail extensions extend from opposite ends of the first core. The second core comprises shoe portions located at respective ones of the rail extensions, where a gap is provided between each of the rail extensions and respective ones of the shoe portion. The second induction section is configured to move relative to the first induction section in a path along the extensions. The first induction section is configured to induce current in the second induction section, including when the second core moves relative to the first core along the extensions, to provide a contactless induction coupling between the first induction section and the second induction section.
H02J 50/12 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif du type couplage à résonance
B60M 7/00 - Lignes ou rails d'alimentation en énergie spécialement adaptés pour véhicules à propulsion électrique d'un type particuliers, p.ex. véhicules suspendus, téléfériques, chemins de fer souterrains
B60L 9/00 - Propulsion électrique par source d'énergie extérieure au véhicule
H02J 50/10 - Circuits ou systèmes pour l'alimentation ou la distribution sans fil d'énergie électrique utilisant un couplage inductif
B60L 5/00 - Collecteurs de courant pour lignes d'alimentation en énergie sur les véhicules propulsés électriquement
B60L 9/08 - Propulsion électrique par source d'énergie extérieure au véhicule utilisant des moteurs à courant continu alimentés par des lignes à courant alternatif
